儀器設備
聚焦離子束顯微鏡（SII NANOTECH SMI2050）
| 編號 | 9 |
| 位置 | 材料實驗館 R109-E |
| 用途 | (1)定點切割(Precisional Cutting)－利用粒子的物理碰撞來達到切割之目的； (2)選擇性的材料蒸鍍(Selective Deposition)－以離子束的能量分解有機金屬蒸氣或氣相絕緣材 |
| 管理者 | 楊子逸 |
| 管理者Email | victorweiadsl@gmail.com |
| 分機電話 | 03-5715131#35398 |