霍爾效應量測系統	RF/DC雙靶濺鍍機(sputter)	Three omega薄膜熱傳導係數量測系統
ULVAC MILA-3000桌上型紅外線加熱裝置	鑽石切割機	電化學測試系統
半導體電性參數量測系統	四點探針量測系統	探針平台( x 2)
高溫退火爐 ( x 2)	循環式烘箱	氮氣產生系統
光學顯微鏡（400倍）	機械研磨拋光機

  

更新日期： 2012-08-07