Three omega薄膜熱傳導係數量測系統

Three Omega薄膜熱傳導係數量測原理是在試片表面鍍上一長金屬線，通入一頻率為w的交流訊號，藉於金屬線焦爾效應形成一頻率為2w的加熱源，並以熱波(thermal wave)的形式往薄膜與基材傳遞。經由量測金屬線兩端頻率為3w的跨壓訊號的振幅與頻率間的關係可以推導出基材與薄膜的熱傳導係數。此一技術的優點是毋須移除基材，試片製作較簡單，而且採用瞬態(transient state)的量測方式無須等待系統達熱平衡，可大幅縮短量測所需時間。以下為利用此系統所得到之SiO₂薄膜熱傳導係數量測結果。