ULVAC MILA-3000��W�����~�u�[���˸m

��������:

MILA-3000����W�����~�u�[���˸m�A�㦳�ֳt�ɭ��šB�ű���ǵ��u�I�C�������������Ŷ��ï�f�t���P�����J�A�i�椣�P��^�h���B�z�C

�����u�I:

1.��b�u�ŻP�h�خ�^�U�h���C

2.�㦳�ֳt�ɭ��Ū���O�A�ɷųt�׳̧֥i�F50ºC/sec�A�f�t�B�����N�o�`���t�Ψ㦳�ֳt���Ū���O�C

3.�㦳��Ǫ��ű��˸m�A��P����ܵ{���ū׻P����ū��C

4.�i�b���x�W�[��CCD�Ǧ��[���դ��h���ɪ��ܤ��C

��������:

���˸m���i��դ����B�z�~�A��i�ΨӧY�ɰ����դ��q���H�ūת��ܤƱ��ΡC�p�Ϥ@�ҥܡA�ѵĪ��e���w�d�վɤJ�|�ڪ��u�A�øg�Ѹդ��S�����x�]�p�p�ϤG�ҥܡA�i�b�ɷŪ����p�U�P�ɳq�J�q�y�P�q���A�øg�ѹq�������T���H�ɶ����ܤơC