奈米壓痕測試儀 Nanoindenter

(UMIS, Based Model, CSIRO, Australia)

奈米壓痕測試儀可用來分析奈米結構、薄膜材料及生物組織之機械性質，藉由量測之荷重深度曲線，可計算材料之硬度、彈性係數、降伏強度以及斷裂韌性，並可分析材料之變形行為 。

奈米壓痕測試儀 Nanoindenter

(TriboLab, Hysitron, USA)

奈米壓痕測試儀可用來分析奈米結構、薄膜材料及生物組織之機械性質，藉由量測之荷重深度曲線，可計算材料之硬度、彈性係數、降伏強度以及斷裂韌性，並可分析材料之變形行為 。

奈米刮痕測試模組 Nanoscratch Test

(UMIS, Based Model, CSIRO, Australia)

奈米刮痕測試模組裝置於奈米壓痕測試儀上，可針對奈米結構及薄膜材料進行刮痕測試，藉由量測之荷重、位移、深度、摩擦係數變化，可分析材料磨耗性質、薄膜界面 附著強度及材料變形行為。

管狀氣氛高溫爐 Tube Furnace

(VF-360-3-12)

管狀高溫爐可進行試片高溫真空熱處理，並以程式控制升降溫速率。

磁控濺鍍機 Magnetron Sputter

(Kao Duen Technology Corporation, Taiwan)

磁控濺鍍機可進行高效率之 DC 直流濺鍍及 RF 射頻濺鍍，以製備緻密、均勻、成分與靶材接近之金屬及氮化物等優質薄膜，並可藉由功率及偏壓之調整改變鍍膜之品質及特性。

同步觀測奈米壓痕測試模組

In-Situ TEM/Nanoindent

(PI-95 TEM Picoindenter, Hysitron, USA)

同步觀測奈米壓痕測試模組，置於穿透式電子顯微鏡上，測試過程中可直接由電子顯微鏡之繞射分析及微結構、晶格影像即時觀察材料在受力時之變形、破壞行為、 甚至可以觀察到原子受力的動作。此測試模組優點除能即時獲得第一手測試資訊外，並能避免因長時間造成材料之時效變化或是污染所造成的結論誤差，可更有效的 釐清材料之變形機制與破壞行為。