儀器設備
穿透式電子顯微鏡(HRTEM 300)
| 編號 | 6 |
| 位置 | 材料實驗館 R113-C |
| 用途 | 1.鑑別積體電路中奈米等級的缺陷，包括在通孔底部嵌入的顆粒和殘留物。 2.確定結晶相，作為界面距離函數 3.奈米晶粒特性：核心/外殼調查、結塊和退火效應 |
| 管理者 | 蕭羽婷/董其桓 |
| 管理者Email | voxia10@gmail.com / wageniusyne@gmail.com |
| 分機電話 | 03-5715131#35357 |